[반도체용어사전] - MEMS

작성자
fineohms
작성일
2017-02-28 15:52
조회
293
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MEMS(맴스)


[Micro Electro Mechanical System]


: 미세 전자 기계 시스템, 미세 전자제어 기술 등으로 불리운다.


 

반도체 공정기술을 기반으로 성립되는 마이크론(㎛)이나 mm크기의 초소형 정밀기계 제작기술을 말한다.

 

실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로나, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어,

손톱 크기의 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술이다.

 
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